DELLMECO SEMI DMS -pumppusarja on suunniteltu erityisesti puolijohdeteollisuutta varten. Pumput kootaan ja testataan deionisoidulla vedellä ISO 5 -puhdastilassa (luokka 100) ja pakataan vakuumiin.

Kaikki nesteen kanssa kosketuksessa olevat osat SEMI T ja SEMI H -pumpuissa on valmistettu PTFE- ja TFM-materiaaleista. SEMI E -pumpun nesteen kanssa kosketuksissa olevat runko-osat on valmistettu UPPE (Ultra puhdas polyeteeni) -materiaalista. Näin ollen on aina tarkistettava että pumpun materiaali soveltuu pumpattavalle nesteelle. Pumput eivät sisällä lainkaan metalliosia.